濃縮研磨液在加工中的主要作用體現(xiàn)在以下方面:
1、潤(rùn)滑作用:研磨液能減少磨粒、磨屑與研磨表面之間的摩擦,起到潤(rùn)滑的作用。它具有潤(rùn)滑、耐高溫、耐高壓的能力。在潤(rùn)滑劑中加入含有活性元素硫、氯等的耐壓添加劑,來提高耐高壓能力。這些化合物在邊界條件潤(rùn)滑狀態(tài)較好的條件下,用于高溫、高壓的研磨加工,起潤(rùn)滑作用,防止工件的表面,特別是已加工表面的粗糙度的惡化,從而得到降低損傷層的目的。
2、冷卻作用:為防止工件表面燒傷和產(chǎn)生裂紋,研磨液應(yīng)能滲入高溫研磨區(qū)域內(nèi),接近熱源,進(jìn)而降低研磨區(qū)溫度,使之化學(xué)反應(yīng)一致性好,并且研磨液本身還應(yīng)具備良好的散熱能力。研磨液的冷卻性能取決于它的導(dǎo)熱性能和對(duì)工件表面潤(rùn)濕性和供液方式。一般要求研磨液導(dǎo)熱性能好,表面張力小,故在研磨加工過程中,常用稀釋劑等表面活性劑作為輔助添加劑。這樣可降低研磨液表面張力,提高滲透性和潤(rùn)滑性,可獲得比較理想的液體。冷卻性和潤(rùn)滑性并用,相互補(bǔ)充,取得了*的使用效果。
3、懸浮作用:研磨液中一般要加入磨料,磨料力度很大且硬度很高。而研磨液具有良好的懸浮性,磨料分布均勻并在很短的時(shí)間內(nèi)不產(chǎn)生沉淀,這會(huì)大大提高研磨加工的質(zhì)量和效率。加入的研磨液能吸附在固體顆粒表面上產(chǎn)生足夠高的位壘,使顆粒分散開來,以達(dá)到分散、懸浮的特性。
4、去損作用:一般情況下,研磨液為堿性。在研磨過程中堿可以和硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng),尤其損傷層中懸空鍵密度大,反應(yīng)較快,致使磨片剩余損傷層小,這也就使后步工序加工量變小,使磨片損傷度降低,增加出片量,降低成本。
5、清洗作用:在研磨加工時(shí),會(huì)產(chǎn)生大量細(xì)碎的磨屑和磨粒粉末,容易粘附在磨片和磨床工件臺(tái)表面上,從而影響磨片表面質(zhì)量,降低機(jī)床精度。但是,使用時(shí)往往可通過增強(qiáng)研磨液的動(dòng)能、加大存量和增加壓力,來提高研磨液效率。而清洗能力的大小與研磨液的滲透性有關(guān),選擇適宜表面活性劑和采用大的稀釋比水溶液,可大大提高清洗效果,使研磨產(chǎn)物不易形成難清洗的表面吸附.